自重撓みが大きいな300㎜TAIKOウェハの、主要な面に触れることなく安定した搬送が可能です。
ドライエアーによる異物除去を行うことで、大幅なコストの削減につながります。
真空では割れが発生する、極薄ウェハを安全に搬送することが可能です。
キャリアからの出し入れを半自動で行うことにより、安定した取り出しが可能です。
支持基板から剥離した薄ウェハの非接触搬送が可能です。
様々なキャリアへの移し替え動作に対応可能です。顧客ごとのご要望にお応えします。
一番付加価値の高い出荷前のウェハの、割れかけの大幅な軽減を実現します。
30年以上に渡り(1993年に50μm厚ウェハの搬送実現)多くの特殊ウェハ【極薄・反り・SiC・GaN・GaAs・Inp・水晶・ガラス・MEMSウェハ等】の対応実績があります。
多くの問題解決をしてきたからこそ薄化・大経化ウェハの破損事例も経験しています。この苦く痛い経験が問題をワンストップにて解消するソリューション提供の原点となっております。圧倒的な技術サポート力を強みに、お客様に最適の搬送ソリューションを提供します。
当社は従来の固定概念を常に疑い、仮説と検証から導き出そうとします。その過程で何度も実験を繰り返し、結果として今までに実現できなかった多くの商品最適化にも成功しています。
お客様の抱えている問題は何か。その工程は。背景は。そして本質は。当社はお客様の課題と徹底的に向き合います。それは開発段階でも、導入時期でも、納品した後でも変わりません。
まずはメールまたはお電話にてお問い合わせください。
3営業日以内にに当社よりご連絡いたします。
オンラインまたは現地に伺い、現在お困りになられている搬送についてしっかりヒアリングさせていただきます
長年、特殊ウェハを「見て」「触れて」「搬送して」きた当社が持つ知見を踏まえ様々な角度から課題抽出します。
課題本質をとらえ、改善できるソリューション案をご提示します。
必ず、御社課題に対しての改善の糸口を見出す事ができます。
当社設計の特徴は「クライアントの現場目線」である事です。
課題解決に繋がり、現場も継続して使っていける製品を設計します。
対象ワークサンプルをお送りいただければ、御社の安定搬送ができるまでは、とことん無償で評価・検証を行います。
御社課題をワンストップで解消する製品を納品致します。
納品後もサポートを続け、御社のパートナーとして伴走します。
ギャップと流量でバランスをとっているため、変更は不可能です。
製品の厚さや使用方法によって異なりますが、接触式であれば10mm以上の反りや歪みがあっても保持・搬送が可能です。
外径φ6が1本と、ガイド駆動用にφ4が1本必要です。また、ワーク有無検出がある場合は、信号線が含まれます。なお、ガイド用配管はマイクロチューブ(φ1.8)でも対応可能です。