ウェハ汚れ
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剥離帯電による気中パーティクルの汚染
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原因
真空吸着ではウェハと面同士でハンドが触れて、剥離を繰り返すことにより、帯電が発生してほこりが付着する事が主な原因となります。
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解決策
ウェハと面同士での接触面積を極力少なくする剥離を防げるため、帯電防止が実現可能となります。
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成膜,洗浄後の接触による汚染（転写）
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原因
シンプルですが、ウェハにハンドが触れることにより、異物や傷が発生する事が主な原因となります。
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解決策
非接触搬送をして異物や傷を発生させない
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Waterマークつけたくない（CMP後のスラリー跡）
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原因
ウォーターマークがつくのは、Wet工程でウェハが乾燥をすることが主な原因となります。
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解決策
流体を空気から水に変更流体を空気から水に変更することにより（水流旋回）、乾かさずに搬送が可能になります。
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