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よくある課題
よくある課題をケース別にまとめました。当てはまる項目を選んでご覧ください。
ウェハ破損
BG工程後の搬送でお悩みの方
極薄ウェハを扱っている方
SicやGaAsなど化合物の
割れやすいウェハを扱っている方
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ウェハ汚れ
洗浄工程お悩みの方
エッチング工程でお悩みの方
成膜工程でお悩みの方
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搬送が困難
反り&撓みが大きウェハ
特殊加工されたウェハ
接触箇所が限定されているウェハ
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