ガラスインターポーザ向け非接触ハンド販売開始

ガラスインターポーザ向け非接触ハンドの販売を開始致しました。

事前の評価確認についてワークをお借りできれば、弊社内で評価を実施し最適なハンドのご案内をさせていただきます。

【導入メリット】
– 薄化ガラス基板の安全な搬送
– 搬送工程の効率化
– 設備構成の簡素化によるコスト削減
– 裏面プロセス対応ユニット（反転ユニット）との組み合わせが可能

【技術仕様（例）】
対応基板サイズ：300mm〜600mm角
対応厚さ：0.3mm〜1.0mm
搬送方式：上面非接触（Vortex Chuck原理）
搭載例：ロボットハンド、反転ユニット、アライナー、吸着ステージ等

 

• 前へ
• 一覧