10月17日（火曜）に開催されましたSEMIジャパン Members Dayにて、ショートプレゼンを実施させていただきました。

パワーデバイス向け（極薄ウェハ、TAIKOウェハ、SiC・GaNウェハ等）ロボットハンドとそのハンドが搭載された自動搬送設備について５分間のプレゼンテーションを実施させていただきました。

【アジェンダ】

1.特殊ウェハ搬送の専門家

2.パワーデバイス向けウェハの非接触搬送について

3.ECハンドについて（検査用ステージ等含む）

4.様々な特殊ウェハの搬送事例

5.SiC(化合物）ウェハ向けID読み取り機能

 

本プレゼンテーションの内容にご興味がありましたらご遠慮なく問い合わせください。

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